ASML makinelerinde "tekrarlanabilirlik" genellikle Overlay (üst üste bindirme hassasiyeti) olarak ifade edilir. Bu, farklı katmanların birbirine ne kadar hassas hizalandığını gösterir.
Hassasiyet: EXE:5200 serisinde bu değer 0.7 nanometreye kadar düşmüştür. Bu, bir saç telinin genişliğinde binlerce katmanı kusursuz bir şekilde üst üste dizebilmek demektir.
Çözünürlük: Sensör ve enkoder sistemleri pikometre (nanometrenin binde biri) seviyesinde geri bildirim alır. Bu sayede tabla, nanometre altı adımlarla hareket ettirilebilir.
İvmelenme ve Hız (g Kuvvetleri)
Makinelerin bu kadar yüksek hassasiyeti, muazzam bir hız ve ivme altında koruması gerekir.
Reticle Stage (Maske Tablası): Bu parça, lazer tarama sırasında 32g gibi inanılmaz bir ivmeyle hareket eder. Karşılaştırmak gerekirse, modern bir jet savaş uçağı (F-16 gibi) yaklaşık 9g manevra yapabilir. Reticle tablası, bir savaş uçağından yaklaşık 3.5 kat daha fazla ivmelenmektedir.
Wafer Stage (Plaka Tablası): Silikon plakayı taşıyan ana tabla ise yaklaşık 7g - 8g ivmeye çıkar. Bu tablalar, manyetik levitasyon (maglev) teknolojisiyle boşlukta asılı durarak sürtünmesiz bir şekilde hareket eder.
